無塵室中涂布機(jī)操作，空氣凈化設(shè)備網(wǎng)“風(fēng)淋室小記者”在此與大家一起去探討一下。

一、無塵潔凈室它是懸浮粒子濃度受控，其建造和使用方式使得進(jìn)入、產(chǎn)生、滯留于室內(nèi)的粒子*少的房間。室內(nèi)的其它參數(shù)包括：溫度、溫度、氣壓等，按需要受控。（醫(yī)用潔凈室、工業(yè)潔凈室）。

二、無塵室中涂布機(jī)操作:

1、將pUMp的電源插頭插入涂布機(jī)后面的電源插座。

2、將涂布機(jī)的插頭插入110V的電源插座，然后按下pOWER鍵。

3、設(shè)定旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)速及時(shí)間，本機(jī)型為二段式加速，右邊為**段加速，左邊為**段加速。

4、依不同尺寸的基材，可更換不同的旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)盤做涂布的動(dòng)作。

5、按下pUMp鍵，此時(shí)旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)盤會(huì)吸住基材，然后將光阻依螺旋狀從基材中心均勻且慢慢的往外涂開至適當(dāng)?shù)牧?，在做光阻涂開動(dòng)作時(shí)可先用氮?dú)鈱⑿D(zhuǎn)轉(zhuǎn)盤周圍及基材吹干凈。

6、蓋上涂布機(jī)的保護(hù)蓋，以防止光阻濺出涂布機(jī)外。

7、按下START鍵，涂布機(jī)便開始做涂布的動(dòng)作。

8、涂布完畢后，打開保護(hù)蓋，按下pUMp鍵旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)盤會(huì)放開基材，便可以將基材取出。